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罗茨真空泵比其他真空泵更有优势，克服了单个水循环泵使用时限的压力差别，克服了一定压力下吸入率低的缺点，同时罗茨泵可以快速运行。也许许多人不明白为什么罗茨真空泵要接纳防气蚀掩护步伐，认为这样的掩护步伐没有用，所以总是想去掉它。气蚀是一种客观现象，当罗茨真空泵事情时，真空度抵达-0.093MPa以上，真空泵泵腔内的水容易抵达饱和蒸气压，爆发大宗泡沫。
泡沫在排气端压力增加时会迅速，这时原气泡周围的水会迅速填满原气泡的空间，给真空泵的叶轮和圆盘带来巨大攻击，同时陪同着噼啪声。气蚀刻对罗茨真空泵的叶轮和圆盘有很大的威胁，主要是叶轮造成点状损伤，开始破坏金属外貌的掩护层，随着气蚀时间的增加，叶轮外貌会形成蜂窝状的小坑，小坑的深度会慢慢增加，直到叶轮因气蚀和液体阻力而断裂。在实际应用中，许多罗茨真空泵的性能下降或损坏都是由于气蚀造成的。
机械密封的动态环和静态环的密封外貌的附着力由动态环的弹簧施加。冷却水压力太高时，水压对动环起作用。由于静态环是牢固的，水压推动动态环，使弹簧压缩到静态环的相反偏向，削弱或抵消静态环的附着力，使罗茨真空泵的密封面泄漏并修理后，在动力端的发动封上提供冷却液泄漏试验。进气阀开放度低于2/3时，发动封状态良好，无泄漏。水阀翻开2/3以上时，发动封泄漏。开端判断是水压过大造成的，建议电动机维修后开始运转，并进一步泄漏的实际原因。
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